论文标题

面向绿色制造的硅棒多线线锯工艺评价及优化研究

学科类别

机械工程

答辩人

吴超华

导师

江征风

答辩时间

2019年7月4日下午2:30

答辩地点

机电工程学院410会议室

简介

本论文以开发出的硅棒多线线锯设备JKEDM-500和130µm超薄硅棒多线线锯工艺为研究基础，基于绿色制造的决策目标体系的理论依据，以硅棒多线线锯工艺过程作为研究对象，提出了基于绿色制造目标的硅棒多线线锯绿色工艺评价体系和评价指标，分析了影响多线线锯加工工艺“绿色性”的主要工艺参数，建立了面向绿色制造的多元非线性多目标优化模型，对硅棒多线线锯工艺的绿色评价及工艺参数优化进行了深入的研究。

1、在分析游离砂浆多线线锯和固结金刚石颗粒多线线锯工艺流程的基础上，结合硅棒多线线锯的工艺评价目标模型和工艺评价决策模型，建立了面向绿色制造目标的硅棒多线线锯工艺评价体系，确定了其绿色工艺评价指标。

2、在确定了评价对象——面向绿色制造的硅棒多线线锯工艺和绿色工艺评价指标的基础上，采用定向指标定量化、同趋化和标准化处理，利用熵值法和TOPSIS的组合评价方法对硅棒多线线锯工艺进行绿色评价，通过对绿色评价值的比较，获得绿色程度最高的硅棒多线线锯工艺方案。

3、建立了固结金刚石颗粒多线线锯硅棒的力学模型，得到影响多线线锯工艺过程的主要工艺参数，通过Design Expert11.0采用响应曲面法对硅棒多线线锯系统进行非线性模拟，在连续区间内求解得到面向绿色制造目标的硅棒多线线锯最优工艺参数组合。

答辩委员会

主席：

郭顺生 教授     武汉理工大学

委员：

卢  红 教授     武汉理工大学

盛步云 教授     武汉理工大学

陈  涛 教授     武汉理工大学

章桥新 教授     武汉理工大学

秘书：

黄  芳          武汉理工大学